石英晶體諧振器與MEMS振蕩器中諧振部分區別

傳統石英晶體諧振器不同之處在于諧振部分不同，MEMS硅振蕩器諧振部分為硅片，石英振蕩器諧振部分為石英晶片。單從諧振部分進行比較，硅諧振器不及石英諧振器，常溫頻差穩定度，及溫度特性，均差于石英材料的諧振器。